pusvadītāju gāzes filtri

Kāpēc pusvadītāju ražošanas procesā ir jāizmanto gāzes filtri? 

Gāzes filtri ir būtiski pusvadītāju ražošanas procesā vairāku svarīgu iemeslu dēļ:

1. Piesārņotāju noņemšana

Pusvadītāju izgatavošana ietver daudzus jutīgus procesus, kuros pat vissīkākie piesārņotāji,

piemēram, putekļu daļiņas, mitrums vai ķīmisko vielu atliekas, var būt kaitīga ietekme. Gāzes filtri tiek noņemti

cietās daļiņas, piemaisījumi un gaisa piesārņotāji no procesa gāzēm, nodrošinot tīru vidi

un pusvadītāju plāksnīšu integritātes saglabāšana.

2. Īpaši tīrības standartu ievērošana

Pusvadītāju rūpniecībā izmantotajām gāzēm ir nepieciešams ārkārtīgi augsts tīrības līmenis, kā to var piemaisījumi

var izraisīt pusvadītāju ierīču defektus. Gāzes filtri palīdz sasniegt īpaši tīras gāzes kvalitāti, novēršot

piesārņojumu un nodrošināt produktu konsistenci un uzticamību.

3. Aizsardzības aprīkojums

Gāzēs esošie piesārņotāji var ne tikai kaitēt pusvadītāju plāksnēm, bet arī sabojāt jutīgās

iekārtas, ko izmanto ražošanas procesā, piemēram, ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) reaktori un

kodināšanas sistēmas. Gāzes filtri aizsargā šīs dārgās mašīnas no bojājumiem, samazinot risku

dīkstāves un dārgi remontdarbi.

4. Ražas zuduma novēršana

Ienesīgums ir izšķirošs pusvadītāju ražošanā, kur defekti var izraisīt ievērojamus ražošanas zaudējumus.

Pat viena daļiņa vai ķīmisks piemaisījums var izraisīt ražas zudumu, ietekmējot produktivitāti un rentabilitāti.

Gāzes filtri nodrošina, ka procesa gāzes ir tīras, samazinot piesārņojumu un samazinot ražas zudumus.

5. Produktu kvalitātes nodrošināšana

Konsekvence un kvalitāte ir vissvarīgākā pusvadītāju ražošanā. Var veidoties piesārņotas gāzes

nekonsekvences, kas izraisa neuzticamas pusvadītāju ierīces. Izmantojot gāzes filtrus, ražotāji var

garantēt, ka katra partija atbilst stingrajiem kvalitātes standartiem, kas nodrošina augstāku ierīci

veiktspēju un ilgmūžību.

6. Dīkstāves laika samazināšana

Procesa gāzēs esošie piesārņotāji var izraisīt iekārtas kļūmes, tādēļ nepieciešama apkope vai nomaiņa.

Izmantojot gāzes filtrus, ražotāji var samazināt negaidītu dīkstāves laiku, saglabāt darbības efektivitāti un

pagarināt kritisko iekārtu kalpošanas laiku.

7. Ķīmiskā saderība

Daudzas pusvadītāju procesos izmantotās gāzes ir ļoti reaģējošas vai kodīgas. Gāzes filtri ir

izstrādāts, lai izturētu šo skarbo ķīmisko vidi, vienlaikus efektīvi filtrējot piemaisījumus, nodrošinot

droša un efektīva apstrāde.

Kopumā gāzes filtri ir ļoti svarīgi, lai uzturētu pusvadītāju tīrību, uzticamību un drošību.

ražošanas process, palīdzot iegūt augstas kvalitātes, bez defektiem pusvadītāju izstrādājumus

arī aizsargājot vērtīgu aprīkojumu.

Gāzes filtru veidi pusvadītāju ražošanas procesā

Pusvadītāju ražošanas procesā dažādu veidu gāzes filtri tiek izmantoti, lai risinātu dažādas

posmi un izaicinājumi, kas saistīti ar gāzes tīrību un iekārtu aizsardzību.

Visbiežāk izmantotie gāzes filtru veidi ir:

1. Daļiņu filtri

*Mērķis: daļiņu, putekļu un citu cieto piesārņotāju noņemšanai no procesa gāzēm.

*Lietošana: bieži tiek uzstādīts dažādos posmos, lai aizsargātu vafeles, apstrādes kameras un iekārtas no daļiņu piesārņojuma.

* Materiāli: Parasti izgatavots no saķepināta nerūsējošā tērauda, ​​PTFE vai citiem materiāliem, kas nodrošina izturību un ķīmisko savietojamību.

2. Molekulārie vai ķīmiskie filtri (Getter filtri)

*Mērķis: lai noņemtu specifiskus molekulāros piesārņotājus, piemēram, mitrumu, skābekli vai organiskos savienojumus, kas var būt procesa gāzēs.

*Lietošana: izmanto, ja nepieciešama augstas tīrības pakāpes gāze, piemēram, nogulsnēšanas vai kodināšanas procesos.

* Materiāli: bieži konstruēts, izmantojot aktivētu kokogli, ceolītu vai citus adsorbējošus materiālus, kas īpaši paredzēti molekulāro piemaisījumu aizturēšanai.

3. Augstas tīrības pakāpes gāzes filtri

*Mērķis: Lai sasniegtu īpaši augstas tīrības (UHP) gāzes standartus, kas ir ļoti svarīgi pusvadītāju procesos, kur mazākais piemaisījums var ietekmēt produkta kvalitāti.

*Lietošana: Šos filtrus izmanto tādos procesos kā ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD) un plazmas kodināšana, kur piemaisījumi var izraisīt nopietnus defektus.

* Materiāli: Izgatavots no nerūsējošā tērauda ar specializētām membrānām, lai saglabātu integritāti augsta spiediena un ekstremālos apstākļos.

4. Lielapjoma gāzes filtri

*Mērķis: Gāzu attīrīšanai ievades vietā vai pirms sadales ražošanas līnijās.

*Lietošana: Novietots pirms gāzes padeves sistēmas, lai filtrētu lielapjoma gāzes, pirms tās tiek piegādātas atsevišķiem instrumentiem vai reaktoriem.

* Materiāli: šiem filtriem bieži ir liela jauda, ​​lai apstrādātu lielu gāzu daudzumu.

5. Lietošanas vietas (POU) gāzes filtri

*Mērķis: nodrošināt, lai gāzes, kas tiek piegādātas katram konkrētajam apstrādes instrumentam, būtu brīvas no jebkādiem piesārņotājiem.

*Lietošana: Uzstādīts tieši pirms gāzu ievadīšanas procesa iekārtās, piemēram, kodināšanas vai nogulsnēšanas kamerās.

* Materiāli: Izgatavots no materiāliem, kas ir saderīgi ar pusvadītāju procesos izmantotajām reaktīvām gāzēm, piemēram, saķepināta metāla vai PTFE.

6. Iebūvētie gāzes filtri

*Mērķis: nodrošināt iekšēju filtrēšanu gāzēm, kas pārvietojas caur sadales sistēmu.

*Lietošana: uzstādīts gāzes cauruļvados galvenajos punktos, nodrošinot nepārtrauktu filtrēšanu visā sistēmā.

* Materiāli: Saķepināts nerūsējošais tērauds vai niķelis, lai nodrošinātu ķīmisko saderību ar gāzēm.

7. Virszemes montāžas gāzes filtri

*Mērķis: Jāmontē tieši uz gāzes paneļa sastāvdaļām, lai noņemtu daļiņas un molekulāros piesārņotājus.

*Lietošana: parasti šaurās vietās šie filtri nodrošina efektīvu filtrēšanu lietošanas vietā kritiskos lietojumos.

* Materiāli: Augstas tīrības pakāpes nerūsējošais tērauds, kas nodrošina izturību un savietojamību ar pusvadītāju ražošanas gāzēm.

8. Submikronu filtri

*Mērķis: lai filtrētu ārkārtīgi mazas daļiņas, kas bieži vien ir mazākas par mikronu izmēru un kas joprojām var izraisīt ievērojamus defektus pusvadītāju procesos.

*Lietošana: izmanto procesos, kuros nepieciešams visaugstākais filtrēšanas līmenis, lai uzturētu īpaši tīru gāzes padevi, piemēram, fotolitogrāfija.

* Materiāli: augsta blīvuma saķepināti metāla vai keramikas materiāli, kas var efektīvi notvert pat vismazākās daļiņas.

9. Aktivētās ogles filtri

*Mērķis: Organisko piesārņotāju un gaistošu gāzu noņemšanai.

*Lietošana: izmanto gadījumos, kad ir jānoņem gāzveida piemaisījumi, lai novērstu plāksnīšu piesārņojumu vai reakcijas traucējumus.

* Materiāli: aktīvās ogles materiāli, kas paredzēti organisko molekulu adsorbēšanai.

10.Saķepināta metāla gāzes filtri

*Mērķis: Lai efektīvi noņemtu daļiņas un piemaisījumus, vienlaikus nodrošinot konstrukcijas izturību un izturību pret augstu spiedienu.

*Lietošana: plaši izmanto vairākos pusvadītāju procesa posmos, kur nepieciešama spēcīga filtrēšana.

* Materiāli: Parasti izgatavots no saķepināta nerūsējošā tērauda vai citiem metālu sakausējumiem, lai izturētu skarbu vidi un ķīmiskas vielas.

11.Hidrofobie gāzes filtri

*Mērķis: Lai novērstu mitruma vai ūdens tvaiku iekļūšanu gāzes plūsmā, kas ir ļoti svarīgi noteiktos procesos, kas ir jutīgi pret pat nelielu mitruma daudzumu.

*Lietošana: bieži izmanto tādos procesos kā vafeļu žāvēšana vai plazmas kodināšana.

* Materiāli: Hidrofobas membrānas, piemēram, PTFE, lai nodrošinātu, ka gāzes paliek bez mitruma piesārņojuma.

Šie dažādie gāzes filtru veidi ir rūpīgi izvēlēti, pamatojoties uz to specifiskajām īpašībām, materiālu savietojamību un piemērotību unikālajiem pusvadītāju ražošanas procesa apstākļiem. Pareiza filtru kombinācija ir būtiska, lai uzturētu augstāko gāzes tīrības līmeni, nodrošinātu procesa stabilitāti un novērstu pusvadītāju ierīču defektus.

Daži bieži uzdotie jautājumi par pusvadītāju gāzes filtriem

1. bieži uzdotie jautājumi:

Kas ir pusvadītāju gāzes filtri un kāpēc tie ir svarīgi?

Pusvadītāju gāzes filtri ir būtiskas sastāvdaļas pusvadītāju ražošanas procesā.

Tie ir paredzēti, lai noņemtu piemaisījumus un piesārņotājus no procesa gāzēm, piemēram,skābeklis,

slāpeklis, ūdeņradis un dažādas ķīmiskas gāzes.

Šie piemaisījumi var būtiski ietekmēt pusvadītāju ierīču kvalitāti, ražīgumu un uzticamību.

Efektīvi filtrējot gāzes plūsmas, pusvadītāju gāzes filtri palīdz:

1. Uzturiet augstu tīrību:

Nodrošiniet, lai ražošanas procesā izmantotajās gāzēs nebūtu piesārņotāju, kas varētu pasliktināt ierīces darbību.

2. Novērst aprīkojuma bojājumus:

Aizsargājiet jutīgās pusvadītāju iekārtas no daļiņu un ķīmiskā piesārņojuma, kas var izraisīt dārgas dīkstāves un remontdarbus.

3. Uzlabojiet produktu ražu:

Samaziniet defektus un atteices, ko izraisa ar gāzi pārnēsāti piemaisījumi, tādējādi palielinot ražošanas ražu.

4. Palieliniet ierīces uzticamību:

Samaziniet pusvadītāju ierīču ilgtermiņa degradāciju ar piesārņojumu saistītu problēmu dēļ.

2. bieži uzdotie jautājumi:

Kādi ir izplatītākie pusvadītāju gāzes filtru veidi?

Pusvadītāju ražošanā tiek izmantoti vairāku veidu gāzes filtri, katrs paredzēts noņemšanai

specifiski piesārņotāju veidi.

Visizplatītākie veidi ietver:

1. Daļiņu filtri:

Šie filtri no gāzes plūsmām noņem cietās daļiņas, piemēram, putekļus, šķiedras un metāla daļiņas.

Tie parasti ir izgatavoti no tādiem materiāliem kā saķepināta metāla, keramikas vai membrānas filtri.

2. Ķīmiskie filtri:

Šie filtri noņem ķīmiskos piemaisījumus, piemēram, ūdens tvaikus, ogļūdeņražus un kodīgas gāzes.

Tie bieži ir balstīti uz adsorbcijas vai absorbcijas principiem, izmantojot tādus materiālus kā aktivētā ogle,

molekulārie sieti vai ķīmiskie sorbenti.

3. Kombinētie filtri:

Šie filtri apvieno makrodaļiņu un ķīmisko filtru iespējas, lai noņemtu abus veidus

piesārņotāji. Tos bieži izmanto kritiskos lietojumos, kur svarīga ir augsta tīrība.

3. bieži uzdotie jautājumi:

Kā tiek izvēlēti un izstrādāti pusvadītāju gāzes filtri?

Pusvadītāju gāzes filtru izvēle un dizains ietver vairākus faktorus, tostarp:

* Gāzes tīrības prasības:

Vēlamais tīrības līmenis konkrētajai gāzes plūsmai nosaka filtra filtrēšanas efektivitāti un jaudu.

* Plūsmas ātrums un spiediens:

Filtrējamās gāzes tilpums un darba spiediens ietekmē filtra izmēru, materiālu un konfigurāciju.

* Piesārņojuma veids un koncentrācija:

Gāzes plūsmā esošie specifiskie piesārņotāju veidi nosaka filtra materiāla izvēli un tā poru izmēru.

*Temperatūra un mitrums:

Darbības apstākļi var ietekmēt filtra veiktspēju un kalpošanas laiku.

*Izmaksas un uzturēšana:

Jāņem vērā filtra sākotnējās izmaksas un tā pastāvīgās apkopes prasības.

Rūpīgi apsverot šos faktorus, inženieri var izvēlēties un izstrādāt gāzes filtrus, kas atbilst konkrētajam

pusvadītāju ražošanas procesa vajadzībām.

Cik bieži gāzes filtri ir jāmaina pusvadītāju ražošanā?

Gāzes filtru nomaiņas biežums pusvadītāju ražošanā ir atkarīgs no vairākiem faktoriem, tostarp no veida

process, piesārņotāju līmenis un konkrētais izmantotā filtra veids. Parasti gāzes filtrus nomaina regulāri

apkopes grafiku, lai novērstu jebkādu piesārņojuma risku,bieži ik pēc 6 līdz 12 mēnešiem, atkarībā no lietošanas apstākļiem

un filtra ražotāja ieteikumus.

Tomēr nomaiņas grafiki var ievērojami atšķirties atkarībā no darbības vides. Piemēram:

* Augsta piesārņojuma procesi:

Filtri var būt jāmaina biežāk, ja tie ir pakļauti augsta līmeņa iedarbībai

daļiņu vai molekulārais piesārņojums.

* Kritiskās lietojumprogrammas:

Procesos, kuriem nepieciešama ārkārtīgi augsta tīrība (piemēram, fotolitogrāfija), filtri bieži tiek nomainīti

iepriekš, lai nodrošinātu, ka netiek apdraudēta gāzes kvalitāte.

Spiediena starpības uzraudzība filtrā ir izplatīta metode, lai noteiktu, kad filtrs ir jānomaina.

Piesārņojumiem uzkrājoties, palielinās spiediena kritums filtrā, kas liecina par efektivitātes samazināšanos.

Ir ļoti svarīgi nomainīt filtrus, pirms to efektivitāte samazinās, jo jebkurš gāzes tīrības pārkāpums var izraisīt būtiskus defektus,

samazināt ražu un pat izraisīt aprīkojuma bojājumus.

No kādiem materiāliem tiek izgatavoti gāzes filtri pusvadītāju lietojumiem?

Gāzes filtri, ko izmanto pusvadītāju lietojumos, ir izgatavoti no materiāliem, kas spēj uzturēt visaugstākos tīrības standartus

un izturēt skarbos ražošanas vidi. Parastie materiāli ietver:

*Nerūsējošais tērauds (316L): Visplašāk izmantotais materiāls, pateicoties tā ķīmiskajai izturībai, mehāniskajai izturībai un

iespēja izgatavot ar precīziem poru izmēriem, izmantojot saķepināšanas tehnoloģiju. Tas ir piemērots gan reaktīvo filtrēšanai

un inertās gāzes.

*PTFE (politetrafluoretilēns): PTFE ir ķīmiski inerts materiāls, ko izmanto ļoti reaģējoša vai kodīga filtrēšanai

gāzes. Tam ir lieliska ķīmiskā saderība un hidrofobas īpašības, kas padara to ideāli piemērotu mitrumjutīgam

procesiem.

*Niķelis un Hastello:

Šos materiālus izmanto augstas temperatūras lietojumos vai procesos, kuros iesaistītas agresīvas ķīmiskas vielas

kur var noārdīties nerūsējošais tērauds.

* Keramika:

Keramikas filtrus izmanto lietojumiem, kur nepieciešama ārkārtēja temperatūras izturība, vai zem mikronu

daļiņu filtrēšana.

Materiāla izvēle ir atkarīga no gāzes veida, reaktīvo vielu klātbūtnes, temperatūras un

citi procesa parametri. Materiāliem jābūt nereaģējošiem, lai nodrošinātu, ka tie neievada nekādus piemaisījumus

vai daļiņas procesā, tādējādi saglabājot gāzes tīrības līmeni, kas nepieciešams pusvadītāju ražošanai.

Kāda ir lietošanas vietas (POU) filtru loma pusvadītāju ražošanā?

Lietošanas vietas (POU) filtri ir būtiski pusvadītāju ražošanā, jo tie nodrošina gāzu attīrīšanu tieši pirms

ievadot procesa rīkus. Šie filtri nodrošina galīgo aizsardzību pret piesārņotājiem, kas varētu būt nokļuvuši gāzes plūsmā

uzglabāšanas, transportēšanas vai izplatīšanas laikā, tādējādi uzlabojot procesa stabilitāti un produktu kvalitāti.

Galvenās POU filtru priekšrocības:

*Novietots tuvu kritiskajam aprīkojumam (piemēram, kodināšanas vai nogulsnēšanas kamerām), lai novērstu piesārņojuma nokļūšanu plāksnē.

*Noņemiet gan daļiņas, gan molekulāros piemaisījumus, ko varētu iekļūt gāzes apstrādes sistēma vai vides iedarbība.

*Nodrošināt augstākās iespējamās gāzes kvalitātes piegādi procesa instrumentam, aizsargājot iekārtas un paaugstinot ražoto ierīču kvalitāti.

* Samaziniet procesa mainīgumu, palieliniet ražu un samaziniet defektu līmeni.

*Neaizstājams uzlabotās pusvadītāju vidēs, kur pat nelieli piemaisījumi var būtiski ietekmēt produktivitāti un produkta uzticamību.

Kā gāzes filtri novērš iekārtu dīkstāvi pusvadītāju procesos?

Gāzes filtri novērš iekārtu dīkstāvi pusvadītāju procesos, nodrošinot procesa gāzu pastāvīgu atbrīvošanu

piesārņotāji, kas var izraisīt ražošanas iekārtu bojājumus. Pusvadītāju izgatavošana ietver augstu izmantošanu

jutīgas iekārtas, tostarp nogulsnēšanas kameras, plazmas kodināšanas iekārtas un fotolitogrāfijas sistēmas.

Ja šajās iekārtās nokļūst piesārņotāji, piemēram, putekļi, mitrums vai reaktīvi piemaisījumi, tie var radīt virkni problēmu,

no aizsprostošanās vārstiem un sprauslām līdz bojātām vafeļu virsmām vai reaktora iekšpusēm.

Izmantojot augstas kvalitātes gāzes filtrus, ražotāji novērš šo piesārņotāju iekļūšanu, samazinot iespējamību

neplānota apkope un aprīkojuma bojājumi. Tas palīdz uzturēt stabilus ražošanas grafikus, samazinot

dārga dīkstāve un izvairīšanās no ievērojamiem izdevumiem, kas saistīti ar remontu vai nomaiņu.

Turklāt labi uzturēti filtri palīdz pagarināt galveno komponentu, piemēram, plūsmas regulatoru, vārstu un reaktoru, kalpošanas laiku,

tādējādi uzlabojot ražošanas procesa kopējo efektivitāti un rentabilitāti.

Tātad, ja jums ir vēl daži jautājumi, pārbaudiet sīkāku informāciju par pusvadītāju gāzes filtriem.

Vai esat gatavs optimizēt savu pusvadītāju ražošanas procesu, izmantojot augstas kvalitātes gāzes filtrēšanas risinājumus?

Sazinieties ar HENGKO jau šodien, lai saņemtu ekspertu norādījumus un pielāgotus risinājumus jūsu vajadzībām.

Pēc detalizētas informācijas pārbaudes par pusvadītāju gāzes filtru, ja jums ir vairāk jautājumu?

Vai esat gatavs optimizēt savu pusvadītāju ražošanas procesu, izmantojot augstas kvalitātes gāzes filtrēšanas risinājumus?

Sazinieties ar HENGKO jau šodien, lai saņemtu ekspertu norādījumus un pielāgotus risinājumus jūsu vajadzībām.

Nosūtiet mums e-pastu uzka@hengko.comlai iegūtu vairāk informācijas.

Mūsu komanda ir šeit, lai palīdzētu jums uzlabot ražošanas efektivitāti un produktu kvalitāti.