Uzlaboti IGS virsmas montāžas C-veida blīvējuma filtri īpaši tīrām pusvadītāju gāzes sistēmām

Uzlaboti IGS virsmas montāžas C-blīvējuma filtri īpaši tīrām pusvadītāju gāzes sistēmām Piedāvātais attēls

Īss apraksts:

Zīmols:HENGKO

Filtra nosaukums:IGS virsmas montāžas C-veida blīvējuma filtrs

Materiāls:SS 316L

Plūsmas ātrums:10 ~ 120 SLPM

Maks. darba temperatūra:460°C

Daļiņu noņemšanas izmērs:> 0,003 μm

Sūtiet mums e-pastu Atpakaļ uz apakškategorijām

Produkta informācija

Produkta tagi

Apraksts

HENGKO virsmas montāžas filtri ir izstrādāti, lai atbilstu pusvadītāju OEM instrumentu integrēto gāzes sistēmu stingrajām prasībām. Piedāvājot nozarē vadošo filtrāciju ar 0,003 µm, šie filtri nodrošina izcilu veiktspēju un uzticamību ar daļiņu pārtveršanas efektivitāti ≥99,9999999% (9-LRV) pie 120 sspm.

Šie filtri ir izgatavoti no izturīga 316L nerūsējošā tērauda pulvera saķepinājuma, kas paredzēts filtra elementam un korpusam, un atbilst SEMI F86-0304 specifikācijām, un tiem ir divu portu komponenti, kas pielāgoti 1,125 collu gāzes sadales sistēmām ar C veida blīvējuma konfigurāciju. Tie atbalsta maksimālo ieplūdes spiedienu 3,4 MPa pie 100 °C un maksimālo darba spiediena starpību 0,69 MPa pie 100 °C.

Šie specializētie filtri, kas ir saderīgi gan ar C tipa, gan W tipa blīvējumu specifikācijām, nodrošina tīrību lejup pa straumi, atbrīvojot daļiņas

Ar virsmas apdari Ra< 1,6 µm ārpusē un Ra< 0,13 µm iekšpusē, tie ir paredzēti, lai izturētu augstu temperatūru līdz 460 °C. Šie filtri ir izstrādāti vienkāršai integrācijai un modulāras konstrukcijas uzlabojumiem, vienkāršojot uzstādīšanu un apkopi, palīdzot optimizēt sistēmas veiktspēju pusvadītāju gāzes piegādes un vadības lietojumprogrammās.

Produkta iezīme

▶ Kopējā konstrukcija no 316L nerūsējošā tērauda
▶ Miniaturizēts dizains, kompakta struktūra, vietu taupošs
▶ Lieliskas gāzes aizvietošanas un desorbcijas īpašības
▶ Izturīgs pret augstu temperatūru, augstu spiedienu un koroziju
▶ Elektropulēts 316L nerūsējošā tērauda korpuss
▶ Vienkārša un efektīva uzstādīšana un apkope
▶ Mehāniskais blīvējums, strukturāli nesametināts ar vidi

Augstas veiktspējas IGS virsmas montāžas C blīvējuma filtri pusvadītāju gāzes padeves sistēmām

Datu lapa

Tehniskie parametri	Vērtības
Filtra elementa materiāls	316L nerūsējošā tērauda saķepinātais pulveris
Korpusa materiāls	316L nerūsējošais tērauds
Maksimālais ieplūdes spiediens	3,4 MPa pie 100°C
Maksimālā darba diferenciāļa	0,69 MPa pie 100°C
Hēlija pārbaudes noplūdes ātrums	1x10⁻¹¹ cm³/min
Hēlija testa noplūdes ātrums	1x10⁻⁹ cm³/min
Virsmas apstrāde	Ārējā virsma Ra< 1,6 μm
	Iekšējā virsma Ra< 0,13 μm
Maksimālā darba temperatūra	460°C
Daļiņu pārtveršanas efektivitāte	≥99,9999999% (9-LRV) pie 120 lpm (atsauces MPPS, visas daļiņas)
Lejupstraumes tīrība	Daļiņu izdalīšanās:< 0,03 daļiņas/litrā (< 1 daļiņa/ft³)
	Gaistošās vielas:< 10 ppb mitruma
Daļiņu pārtveršanas izmērs	≥0,003 μm
Plūsmas diapazons	0 ~ 120 minūtes minūtē

Izmērs

virsmas montāžas filtru izmērs

Šeit ir pasūtāmās detaļas numurs un izmēru informācija:

Produkta modelis	Plūsmas ātrums	Augstums (mm)	Filtrēšanas precizitāte	Tīrīšanas līmenis
Z01B-00637	10 minūtes minūtē	51,6	0,003 μm	C
Z01B-00638	40 l/min	82,9	0,003 μm	C
Z01B-00687	80 l/min	126,2	0,003 μm	C
Z01B-00688	120 minūtes minūtē	167,9	0,003 μm	C