Augstas tīrības pakāpes filtrēšana īpaši tīrai pusvadītāju ražošanai
Apraksts
Augstas plūsmas gāzes filtrs — īpaši izstrādāts īpaši augstas tīrības pakāpes procesa gāzu filtrēšanai pusvadītāju ražošanā. Precīzi izgatavots no 316L nerūsējošā tērauda, tam ir daudzkolonnu vai sakrautu disku filtrācijas konstrukcija, lai nodrošinātu zemu pretestību pie lieliem plūsmas ātrumiem, un filtrācijas precizitāte sasniedz 0,003 μm, lai atbilstu īpaši augstas tīrības prasībām. Pilnībā metāla konstrukcija padara to par ideālu filtrācijas risinājumu augstas temperatūras dinamiskām vidēm.
Produkta iezīme
▶Visa 316L nerūsējošā tērauda konstrukcija— Nodrošina izturību un izturību pret koroziju.
▶Augsts plūsmas ātrums, zema pretestība— Optimizēts lielai plūsmai ar minimāliem spiediena zudumiem.
▶Īpaši augsta daļiņu aiztures efektivitāte— Lieliski piemērots īpaši tīru apstākļu uzturēšanai.
▶Izturīgs pret augstām temperatūrām, spiedienu un koroziju— Piemērots skarbiem apstākļiem.
▶Savietojams ar dažādām procesa gāzēm— Daudzpusīgs dažādiem rūpnieciskiem pielietojumiem.
▶Ideāli piemērots tīrtelpu ražošanai, testēšanai un iepakošanai— Lieliski piemērots lietošanai kontrolētā vidē.
▶100% integritātes pārbaude— Katrs filtrs tiek pakļauts visaptverošai integritātes pārbaudei kvalitātes nodrošināšanai.
▶100% hēlija noplūdes pārbaude— Pārbaudīts ar hēlija noplūdes testu, lai nodrošinātu uzticamību kritiskās lietojumprogrammās.

Datu lapa
Tehniskie parametri
| Parametrs | Specifikācija |
|---|---|
| Filtra elementa materiāls | 316L nerūsējošā tērauda pulvera saķepinājums |
| Korpusa materiāls | 316L nerūsējošais tērauds |
| Maksimālais ieplūdes spiediens | 207 bāri |
| Maksimālais darba diferenciālais spiediens | 5,2 bāri |
| Hēlija validācijas noplūdes ātrums | 2 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Hēlija noplūdes ātruma pārbaude | 1 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Virsmas apstrāde | |
| Ārējā virsma | Ra < 1,6 μm |
| Iekšējā virsma | Ra < 0,2 μm |
| Maksimālā darba temperatūra | |
| Inerta gāze | 400–500 ℃ |
| Kodīga un reaģējoša gāze | 50 ℃ |
| Daļiņu aiztures efektivitāte | ≥99,9999999% (9LRV) pie 30 slpm |
| Lejupstraumes tīrība | ≤0,03 daļiņas/litrā @ > 0,01 μm, 30 slāpstiņas minūtē |
| Daļiņu aiztures lielums | ≥0,003 μm |
Izmērs

Šeit ir pasūtāmās detaļas numurs un izmēru informācija:
| Produkta modelis | Filtra elementa materiāls | Filtrācijas precizitāte (μm) | Savienojuma veids |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L nerūsējošais tērauds | 10~0,003 | 1/4 collas |
| Z01B-00648 | 316L nerūsējošais tērauds | 10~0,003 | 1/2 collas |
| Z01B-00649 | 316L nerūsējošais tērauds | 10~0,003 | 1/8 collas |
| Z01B-00650 | 316L nerūsējošais tērauds | 10~0,003 | 1 collas |
| Pielāgojams | 316L nerūsējošais tērauds | 10~0,003 | Pēc nepieciešamības |
Tipiski pielietojumi
daži tipiski pielietojumiAugstas tīrības pakāpes beramkravu un lietderīgo atkritumu filtriunGāzes plūsmas filtri gāzes spilventiņā:
1. Pusvadītāju ražošana
*Nodrošina īpaši tīras gāzes padevi vafeļu izgatavošanai, kodināšanai un ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (CVD) procesiem.
* Uztur augstu tīrības pakāpi slāpekļa, argona un citu nesējgāzu beztaras gāzes sadales sistēmās.
2. Farmācijas ražošana
*Nodrošina sterilu un bezdaļiņu gāzi kritiskām ražošanas vidēm.
*Atbalsta augstas tīrības pakāpes filtrēšanu tīrtelpām un kontrolētām vidēm, lai saglabātu produkta integritāti.
3. Laboratorijas gāzes sistēmas
*Izmanto laboratorijas apstākļos, lai attīrītu gāzes plūsmas analītiskajās iekārtās, piemēram, gāzu hromatogrāfijā un masas spektrometrijā.
*Nodrošina augstas tīrības pakāpes gāzes pētniecības un testēšanas vajadzībām, aizsargājot jutīgus instrumentus.
4. Pārtikas un dzērienu pārstrāde
*Filtrē CO₂ un citas gāzes, ko izmanto karbonizācijā, iepakošanā un uzglabāšanā, saglabājot pārtikas nekaitīgumu un kvalitāti.
*Nodrošina nepiesārņotu gāzes piegādi pārstrādes rūpnīcās, jo īpaši vairumtirdzniecības gāzes uzņēmumiem.
5. Naftas un gāzes rūpniecība
* Attīra dabasgāzes plūsmas gāzes spilventiņu filtrācijā, noņemot piesārņotājus pirms uzglabāšanas vai transportēšanas.
*Aizsargā iekārtas, noņemot daļiņas, mitrumu un piemaisījumus augstspiediena gāzes plūsmas sistēmās.
6.Ķīmiskā ražošana
*Filtrē ķīmiskās sintēzes un reakcijās izmantotās komunālās gāzes, piemēram, slāpekli un argonu.
* Uztur gāzes tīrību, lai novērstu piesārņojumu un reakcijas neatbilstības.
7. Kosmosa un aizsardzības rūpniecība
*Piegādā augstas tīrības pakāpes gāzes kosmosa materiālu un komponentu ražošanas un testēšanas vidēs.
*Nodrošina nemainīgu gāzes tīrību kontrolētā vidē lidmašīnu un aizsardzības aprīkojuma montāžai.
8. Enerģijas ražošana (elektrostacijas)
*Filtrē augstspiediena gāzes dzesēšanas un procesu vajadzībām, īpaši augstas temperatūras apstākļos.
*Uzlabo efektivitāti un samazina iekārtu nodilumu, novēršot piesārņojumu gāzes dzesēšanas un plūsmas sistēmās.
Šie ffiltri ir būtiski jebkurā pielietojumā, kam nepieciešama tīra, vienmērīga gāzes plūsma, uzlabojot iekārtu aizsardzību,
procesu efektivitāti un galaprodukta kvalitāti dažādās nozarēs.
![]()
Nosūtiet mums savu ziņojumu:






