Temperatūras un mitruma sensors pusvadītāju tīras telpas temperatūras mitruma kontroles shēmai
Produktu izstāde
Temperatūrauntīras telpas mitrums galvenokārt tiek noteikts atbilstoši procesa prasībām, taču, ja tiek izpildītas procesa prasības, jāņem vērā komforta sajūta.Uzlabojoties gaisa tīrības prasībām, ir vērojama tendence arvien stingrākas prasības attiecībā uz temperatūru un mitrumu.
Tā kā apstrādes precizitāte kļūst arvien labāka, temperatūras svārstību diapazons kļūst arvien mazāks.Piemēram, liela mēroga integrālo shēmu ražošanas litogrāfiskās ekspozīcijas procesā stikla un silīcija plāksnītes kā maskas materiāla termiskās izplešanās koeficienta atšķirībai ir jābūt mazākai un mazākai.Silīcija vafeles diametrs 100 um, temperatūras paaugstināšanās par 1 grādu, izraisīs 0,24 um lineāro izplešanos, tāpēc temperatūrai jābūt ±0,1 grādam, tajā pašā laikā mitruma vērtība parasti ir zema, jo cilvēki svīst, izstrādājumam būs piesārņojums, īpaši baidās no nātrija pusvadītāju darbnīcas, šajā darbnīcā nevajadzētu pārsniegt 25 grādus.
Augsts mitrums rada vairāk problēmu.Relatīvajam mitrumam pārsniedzot 55%, uz dzesēšanas ūdens caurules sienas veidosies rasa, kas, ja tas notiks precīzijas ierīcēs vai ķēdēs, izraisīs dažādus negadījumus.Kad relatīvais mitrums ir 50%, tas viegli rūsē.Turklāt, ja mitrums ir pārāk augsts, putekļi, kas pielipuši pie silīcija mikroshēmas virsmas, tiks ķīmiski adsorbēti uz virsmas, lai pretotos noņemšanai.Jo augstāks ir relatīvais mitrums, adhēziju ir grūti noņemt, bet, ja relatīvais mitrums ir zemāks par 30%, daļiņas ir viegli adsorbējamas uz virsmas, pateicoties elektrostatiskā spēka iedarbībai, un ir liels skaits pusvadītāju ierīču. nosliece uz sabrukšanu.Optimālais temperatūras diapazons vafeļu ražošanai ir 35-45%.
Tāpēc temperatūras un mitruma kontrole ir īpaši svarīga, HENGKO var nodrošināt jūs ar virknitemperatūras un mitruma raidītāju pielāgoti apstrādes risinājumi!
Temperatūras un mitruma sensors pusvadītāju tīras telpas temperatūras mitruma kontroles shēmai
Vai nevarat atrast produktu, kas atbilst jūsu vajadzībām?Sazinieties ar mūsu pārdošanas darbiniekiemOEM/ODM pielāgošanas pakalpojumi! 
